Schunk

První mobilní robotické řešení pro výrobu polovodičů

Výroba polovodičů je složitý a komplexní proces. Až dosud neexistoval žádný mobilní automatizovaný systém jejich výroby, který by umožňoval přenos součástí z jedné fáze výroby do další. To se nyní změnilo s manipulačním mobilním robotickým řešením společnosti KUKA.

 

Malé inteligentní počítačové čipy - polovodiče - se dnes používají ve všech oblastech našeho života: od chytrých telefonů a tabletů až po automobily. Tyto součásti mají zásadní význam v souvislosti aktuálními megatrendy v automobilovém průmyslu. Při výrobě polovodičů se chemický prvek křemík zpracovává ve formě plátků (wafers). Destičky jsou během výroby skladovány ve speciálních plastových kazetách v čistém prostředí (Clean room) a zpracovávány v mnoha procesních krocích. Protože se poptávka po polovodičích zvyšuje a bude zvyšovat, chtějí producenti automatizovat jejich výrobní proces.

Automatizovaná manipulace

Společnost KUKA jako první na světě představila řešení pro automatizovaný přenos a manipulaci s polovodičovými kazetami. Toto pracoviště se skládá ze standardizované autonomní mobilní jednotky (AGV) a osvědčeného kolaborativního robota KUKA LBR iiwa. Kromě toho byl také vyvinut speciální uchopovací systém pro tuto aplikaci včetně kompletního software.

Pohyblivost systému zajišťuje mobilní platforma KMR 200 CR. Plošina má speciální kola „Mecanum”, která umožňují všesměrový pohyb jednotky. Senzory snímají okolní prostředí v reálném čase, čímž řeší bezpečnost a zabraňují kolizím. Na platformě je nainstalován kolaborativní robot LBR iiwa, schopný přímé a bezpečné spolupráce s člověkem. Vysoká citlivost robota umožňuje spolehlivě a bez vibrací manipulovat s citlivými kazetami s polovodičovými destičkami. Třetí součástí řešení je speciální uchopovací hlavice, která byla patentována společností KUKA.

Software řídí mobilní robotickou flotilu

Hardware i software pro uvedenou robotickou aplikaci manipulace s křemíkovými wafers jsou z dílny společnosti KUKA. Kvalitní softwarové řešení velmi přesně zapadá do moderního automatizovaného procesu při výrobě polovodičů. Integrovaný manažer flotily robotických mobilních jednotek řídí jednotlivé objednávky tak, aby zajistil optimálně automatizovanou výrobu polovodičů. Kompletní řešení je od jednoho dodavatele a je certifikováno. Důsledkem toho je velmi krátká doba uvedení zařízení do provozu, kvalitní servis a následné služby, díky čemuž je tento systém společnosti KUKA unikátním řešením v oblasti manipulace při výrobě polovodičů.

 
Publikováno: 5. 2. 2020 | Počet přečtení: 363